私たちができること

マイクロ流路チップの
インジェクション成形による量産技術

導入メリット
(1)独自製法にて超精密品を高品質で大量生産!  
(2)ガラスと比べると使い捨てチップとして廃棄が容易  
(3)アクリル樹脂と比べると自家蛍光性が極めて低い  
(4)軟質材料のため、割れづらく危険が少ない
マイクロ流路の量産技術

私たちの特長

① 10個取り金型で10万個/月までの生産が可能

高透明PDMSを用いたLIM(液状射出成形)技術と特殊金型技術により、マイクロ流路などの高精度品を高品質で大量生産する事が可能です。

SU8による試作対応も可能です。

材質 新開発PDMS A60°
透過性 波長405nmで透過率94%
成形方式 射出成形
マイクロ流路の量産技術

私たちの特長

② 鏡面仕上げ

流路面はRa50nmレベルの表面粗さを実現し光源の乱反射を低減。

PDMSは金型転写性が極めて良好である為、鏡面性の高い製品が提供出来ます。

私たちの特長

③ 自由な形状設計

従来のキャスティング製法では成しえなかった本当に欲しい形状を実現する事が可能です。ニーズに合わせたご提案を致します。

<例えば>

①流路と穴を一体で成形→穴あけ作業不要!

②チューブ接続口を一体で成形→チューブ接続は差込むだけ!

マイクロ流路形状パターン例

私たちの特長

④ 溝の深さも自由に設計可能

流路溝の深さ寸法も自由に設計可能です。

※流路に段差を付ける事も可能です。

流路の溝の深さや幅を自由に設計出来ます。(最少最大値は工法により異なりますので別途打ち合わせが必要です。)

私たちの特長

⑤ 流路とフラットプレートは完全接着

独自の接着技術によりPDMS同士を完全接着。耐圧性が必要なものにも安心して使用出来ます。

※用途に応じてガラス板との完全接着も可能です。

流路とフタは表面改質より接合致します。フタの素材は別途打ち合わせが必要となります。

私たちの特長

⑥ 最小厚み0.4mmまで対応可

総厚みで0.4mmまでの薄型化が可能であり材料の光透過性を犠牲にしません。

最少厚みは流路とフタ合わせて最少0.4mまで対応可能

私たちの特長

⑦ PDMSの接合技術(PDMSと異材質接合技術)

接合技術:成形された微細加工面に接着剤を使わず様々な材質(PDMS同士はもちろん、ガラスやCu・SUS等の金属、樹脂であればPS・COP)と強固に接合させることが可能です。これらは量産性を踏まえ、全て大気圧下のプラズマ処理を利用しています。

1.異材質との接合技術

PDMS+異材質接合可能材料
  1. ①Zn
  2. ②Niメッキ
  3. ③Cu
  4. ④SUS
  5. ⑤TiN
  6. ⑥ガラス
  7. ⑦PDMS
  8. ⑧その他

接合例

PDMS+CuPDMS+Cu

PDMS+SUSPDMS+SUS

PDMS+ガラスPDMS+ガラス

PDMS+PDMSPDMS+PDMS

 

PDMS+異材質との引張り試験
PDMS+異材質との引張り試験結果PDMS+異材質との引張り試験結果

2.PDMS流路とポリスチレンへの強固な接合

PDMS流路とポリスチレンへの強固な接合
断面構造マイクロ流路を成形したPDMSに接着剤無しでポリスチレン板を接合

断面構造
マイクロ流路を成形したPDMSに
接着剤無しでポリスチレン板を接合

試作流路

100μmLINE&SPACE, 50μm深さ蛇行流路

テスト方法:
加圧ポートから蛍光試薬(Fluorescein disodium salt)
水溶液(1%w/w)を注入後、流路出口を閉鎖。
加圧ポート圧力を0kPa→200kPaに変え、
蛍光顕微鏡画像から流路幅の変化を測定。
(試験温度22.9℃)

実験協力:
 東京大学生産技術研究所2部 藤井研究室様

高圧での総益で剥離せず、流路寸法もほとんど変化しません!

高圧での総益で剥離せず、流路寸法も
ほとんど変化しません!

私たちの特長

⑧ シリコンウエハーの金型応用技術

試作技術:フォトリソグラフィー技術を用いたレジストエッチングにより微細加工されたシリコンウェハーと金型を融合させ、トランスファー成形によって試作を作成します。キャスティング技術では出来ない、肉厚やショット毎の寸法再現性の安定化が図れます。金型はΦ4インチとΦ8インチを用意しており、一枚のウェハーで200ショットを保証致します。

PDMSマイクロ流路の試作

  • レジストエッチングされたシリコンウェハーを金型の一部として応用。200ショットまで保障します。
  • トランスファー成形にて作製する事で肉厚の安定化とショット間での寸法バラツキを抑えられます。
レジストエッチングでマイクロ流路が加工されたシリコンウェーハーを、独自開発した金型と融合させ、試作に対応しております。