クリーンルーム

空気清浄度が確保された部屋、防塵室とも言う。バイオ関係ではクラス1,000以下を求められる。

クリーンルームは半導体製造やバイオテクノロジー、光学デバイス製造などの分野で重要。微小な不純物や塵が製品の品質や性能に影響を与えることから、高精度な製造に必要な環境を確保するためにクリーンルームが利用される。