2023年8月25日
スクリーン印刷では困難な1μm幅以下のパターンを転写形成する一種の凸版印刷技術。凸形状形成精度が高く、溶剤希釈インクとの馴染みと転写時のインク離れ性に優れるシリコーンゴムが版材料として使用される。 この加工方法でよく製作 […]
2023年8月25日
均一波長のレーザーは集光しやすい事から、局所的にエネルギーを集中して熱分解による加工が可能となる。しかし、熱加工では被加工材料の物性変化も大きく溶融した材料の飛散も大きい。樹脂材料を対象とする場合、短波長レーザーは樹脂を […]
2023年8月25日
ナノサイズのパターンを形成する場合、短波長光に反応しないレジストや回折によりフォトマスク用いた精細パターン形成が困難となる事から電子ビームを用いてSiウエハに直接パターン形成する手法。電子ビームにより対象のウエハ表面の原 […]
2023年8月25日
腐食性の酸やアルカリ溶液を用いたSiウエハ等のエッチングを行う工法。長い実績のある工法で必要となる溶液や装置も安価だが、近年は廃液処理が障害となり新規に導入する事例は少ない。 この加工方法でよく製作される製品
2023年8月25日
腐食性の酸やアルカリ溶液を使用せずに、腐食性ガスや高速イオン流を用いてSiウエハのエッチングを行う工法。廃液処理に大きなコストを必要とするエッチング液を使用しない点は有利だが、使用する装置は高価となる。 この加工方法でよ […]
2023年8月25日
フォトリソグラフィの場合、レジストの反応波長以下のパターン形成は著しく困難となり、短波長に反応するレジストも著しく高価となる。ナノインプリントリソグラフィは、マスターの金型作製時にこそ加工単価が高い短波長用レジストや電子 […]
2023年8月25日
熱可塑性樹脂製フィルムを加熱軟化させて凸形状を形成する加工方法。凸型を押し込む方法と凹型内を減圧して樹脂を引き込む方法がある。 この加工方法でよく製作される製品
2023年8月25日
一般にPDMSと称される低粘度液状シリコーンゴム材料は、大気圧下での流し込み（注型）が可能なので、適当な素材の凸型を用意すればマイクロ流路を容易に試作出来る。この流し込みの注型作業をキャスティングという。高価な成形機や真 […]
2023年8月25日
マイクロ流路を石英や高硬度樹脂を用いて試作する場合、ルーター等の切削工法を取ると流路壁面が粗面となる為、ダイヤモンドバイトで仕上げを行う。100μ幅以下では、全てダイヤモンドバイトによる研削になる為、加工費は著しく高価と […]
2023年8月25日
シリコンウエハ上に薄膜塗布した感光性レジストにフォトマスクを透過して紫外線光を照射し、硬化または可溶化して必要となるエッチングマスクを形成する技術。 この加工方法でよく製作される製品
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