マイクロコンタクトプリント

スクリーン印刷では困難な1μm幅以下のパターンを転写形成する一種の凸版印刷技術。凸形状形成精度が高く、溶剤希釈インクとの馴染みと転写時のインク離れ性に優れるシリコーンゴムが版材料として使用される。

この加工方法でよく製作される製品

• 超音波トランスデューサーや圧力センサーなどの圧電素子
• マイクロリアクターやマイクロ流体チップ
• MEMS光スイッチや光ミラーなどの光デバイス