レーザー微細加工

均一波長のレーザーは集光しやすい事から、局所的にエネルギーを集中して熱分解による加工が可能となる。しかし、熱加工では被加工材料の物性変化も大きく溶融した材料の飛散も大きい。樹脂材料を対象とする場合、短波長レーザーは樹脂を構成する分子主鎖を直接切る機能を有する事から、変質の少ない微細加工が可能となる。