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フォトリソグラフィ
シリコンウエハ上に薄膜塗布した感光性レジストにフォトマスクを透過して紫外線光を照射し、硬化または可溶化して必要となるエッチングマスクを形成する技術。
この加工方法でよく製作される製品
- CPU、メモリ、センサーなど半導体製造における集積回路（チップ）
- コンピュータ、家電製品などのPCB（プリント基板）
- 光ファイバー、レンズ、ミラーなどの光学デバイス
シリコンウエハ上に薄膜塗布した感光性レジストにフォトマスクを透過して紫外線光を照射し、硬化または可溶化して必要となるエッチングマスクを形成する技術。
