ソフトリソグラフィ

ナノインプリントやマイクロコンタクトプリント時に樹脂またはエラストマーをマスターに使用するリソグラフィ技術を言う。石英やガラス等の硬質材料をマスターに使用する場合、賦形するレジストに残膜が生じるが、軟質マスターでは残膜を無くすことが出来る。

この加工方法でよく製作される製品

• スマートフォン、テレビなどのフレキシブルディスプレイ回路
• フレキシブルセンサー
• ウェアラブルヘルスモニター